ويڪيوم ڪوٽنگ- موجوده ڪرسٽل ڪوٽنگ جو طريقو
پيداوار جي وضاحت
موجوده ڪرسٽل ڪوٽنگ واري طريقي ۾ شامل آهي: هڪ وڏي ڪرسٽل کي برابر ايراضيءَ واري وچولي ڪرسٽل ۾ ورهائڻ، پوءِ وچولي ڪرسٽل جي اڪثريت کي اسٽيڪ ڪرڻ، ۽ ٻن ڀرسان وچولي ڪرسٽل کي گلو سان ڳنڍڻ؛ ورهايو ڪيترن ئي گروپن جي برابر-علائقي جي اسٽيڪ ٿيل ننڍا ڪرسٽل ٻيهر؛ ننڍي ڪرسٽل جو اسٽيڪ وٺو، ۽ گھڻن ننڍڙن ڪرسٽل جي پردي طرفن کي پالش ڪريو ته جيئن گول ڪراس سيڪشن سان ننڍڙا ڪرسٽل حاصل ڪيا وڃن. علحدگي؛ ننڍڙن ڪرسٽل مان هڪ کي کڻڻ، ۽ ننڍڙن ڪرسٽل جي گهيري واري پاسي واري ديوار تي حفاظتي گلو لڳائڻ؛ ننڍي ڪرسٽل جي اڳيان ۽/يا پٺتي پيل پاسن کي ڪوٽنگ ڪرڻ؛ آخري پراڊڪٽ حاصل ڪرڻ لاءِ ننڍڙن ڪرسٽل جي طويل پاسن تي حفاظتي گلو کي هٽائڻ.
موجوده ڪرسٽل ڪوٽنگ پروسيسنگ جو طريقو ويفر جي فريم واري پاسي واري ڀت کي بچائڻ جي ضرورت آهي. ننڍن ويفرن لاء، گلو لاڳو ڪرڻ وقت مٿين ۽ هيٺين سطحن کي آلودگي ڪرڻ آسان آهي، ۽ آپريشن آسان ناهي. جڏهن ڪرسٽل جي اڳيان ۽ پٺيءَ کي ڪوٽنگ ڪيو وڃي ته ختم ٿيڻ کان پوءِ، حفاظتي گلو کي ڌوئي ڇڏڻو پوندو، ۽ آپريشن جا مرحلا مشڪل هوندا آهن.
طريقا
ڪرسٽل جي ڪوٽنگ جو طريقو شامل آهي:
●اڳواٽ ڪٽڻ واري ڪنڊ سان گڏ، هڪ ليزر استعمال ڪندي سبسٽريٽ جي مٿئين مٿاڇري کان واقع ٿيڻ لاءِ پهريون وچولي پراڊڪٽ حاصل ڪرڻ لاءِ سبسٽريٽ اندر تبديل ٿيل ڪٽڻ کي انجام ڏيڻ لاءِ؛
●ٻيو وچولي پراڊڪٽ حاصل ڪرڻ لاءِ پهرين وچولي پراڊڪٽ جي مٿئين سطح ۽/يا هيٺئين مٿاڇري کي ڪوٽنگ ڪرڻ؛
●اڳواٽ ڪٽڻ واري ڪنڊ سان، ٻئي وچولي پراڊڪٽ جي مٿئين مٿاڇري کي ليزر سان اسڪرپٽ ۽ ڪٽيو ويندو آهي، ۽ ويفر کي ورهايو ويندو آهي، ته جيئن ٽارگيٽ پراڊڪٽ کي بچيل مواد کان الڳ ڪري سگهجي.
