ويڪيوم ڪوٽنگ - موجوده ڪرسٽل ڪوٽنگ جو طريقو
پيداوار جي وضاحت
موجوده ڪرسٽل ڪوٽنگ جي طريقي ۾ شامل آهن: هڪ وڏي ڪرسٽل کي برابر ايراضي واري وچولي ڪرسٽل ۾ ورهائڻ، پوءِ وچولي ڪرسٽل جي هڪ ڪثرت کي اسٽيڪ ڪرڻ، ۽ ٻن ويجهن وچولي ڪرسٽل کي گلو سان ڳنڍڻ؛ برابر ايراضي واري اسٽيڪ ٿيل ننڍڙن ڪرسٽل جي ڪيترن ئي گروپن ۾ ٻيهر ورهايو؛ ننڍڙن ڪرسٽل جو هڪ اسٽيڪ وٺو، ۽ ڪيترن ئي ننڍڙن ڪرسٽل جي پردي پاسن کي پالش ڪريو ته جيئن هڪ گول ڪراس سيڪشن سان ننڍا ڪرسٽل حاصل ڪري سگهجن؛ الڳ ڪرڻ؛ ننڍڙن ڪرسٽل مان هڪ کي کڻڻ، ۽ ننڍڙن ڪرسٽل جي گھيري واري پاسي واري ڀتين تي حفاظتي گلو لڳائڻ؛ ننڍڙن ڪرسٽل جي اڳيان ۽/يا پٺئين پاسن کي ڪوٽنگ ڪرڻ؛ آخري پيداوار حاصل ڪرڻ لاءِ ننڍڙن ڪرسٽل جي گھيري واري پاسي تي حفاظتي گلو کي هٽائڻ.
موجوده ڪرسٽل ڪوٽنگ پروسيسنگ طريقي کي ويفر جي گهيري واري پاسي واري ڀت کي بچائڻ جي ضرورت آهي. ننڍن ويفرز لاءِ، گلو لڳائڻ وقت مٿئين ۽ هيٺين سطحن کي آلوده ڪرڻ آسان آهي، ۽ آپريشن آسان ناهي. جڏهن ڪرسٽل جي اڳيان ۽ پوئتي ڪوٽنگ ڪئي ويندي آهي ته ختم ٿيڻ کان پوءِ، حفاظتي گلو کي ڌوئڻ جي ضرورت آهي، ۽ آپريشن جا مرحلا مشڪل آهن.
طريقا
ڪرسٽل جي ڪوٽنگ جو طريقو شامل آهي:
●اڳواٽ ڪٽنگ ڪنٽور سان گڏ، ليزر استعمال ڪندي سبسٽريٽ جي مٿئين مٿاڇري کان واقع ٿيڻ لاءِ سبسٽريٽ اندر تبديل ٿيل ڪٽنگ ڪرڻ لاءِ پهرين وچولي پيداوار حاصل ڪرڻ لاءِ؛
●پهرين وچولي پيداوار جي مٿئين مٿاڇري ۽/يا هيٺين مٿاڇري کي ڪوٽنگ ڪرڻ ته جيئن ٻي وچولي پيداوار حاصل ڪري سگهجي؛
●اڳواٽ ڪٽنگ ڪنٽور سان گڏ، ٻئي وچولي پراڊڪٽ جي مٿئين مٿاڇري کي ليزر سان لکجي ۽ ڪٽيو ويندو آهي، ۽ ويفر کي ورهايو ويندو آهي، ته جيئن ٽارگيٽ پراڊڪٽ کي بچيل مواد کان الڳ ڪري سگهجي.
